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多晶硅石英坩埚在使用时应注意事项?

2020-10-06 08:55:30

半导体级高纯多晶硅石英坩埚是拉制大直径单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只坩埚。单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,对坩埚的要求十分苛刻。  

一般国际上对多晶硅石英坩埚的要求:材质必须是高纯度半导体级;耐高温性强;坩埚的尺寸大;精度高;保温性能好;节约能源;产品质量一致性好;稳定性高等特点。多晶硅石英坩埚在使用时应注意两点:


石英坩埚


1.多晶硅石英坩埚可在1700度以下灼烧,但灼烧温度高于1100度石英会变成不透明,因此熔融温度不应超过800度。

2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。

多晶硅石英坩埚是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的主要、基础的功能性材料。主要用做半导体的原料,是制做单晶硅的主要原料,可作各种晶体管、整流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探测器等。

多晶硅石英坩埚是制备单晶硅的唯 一原料和生产太阳能电池的原料。随着近几年我国单晶硅产量以年均26%的速度增长,多晶硅石英坩埚的需求量与日俱增,目前供应日趋紧张。我国2000年产单晶硅459吨,2003年增加到1191吨,预计2005年产量将达1700吨,消耗多晶硅石英坩埚2720吨。从单晶硅产品结构看,太阳电池用单晶硅产量增长快,2000年产量207吨,2003年为696吨。预计2005年将达到1000吨,约需多晶硅石英坩埚1590吨,而国内2004年仅生产多晶硅石英坩埚57.7吨,绝大部分需要进口。


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