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如何使用激光修补石英坩埚?

2022-08-09 11:40:04

无位错单晶的生长对石英坩埚性能有着严格的要求,如极低的杂质含量、精 确的尺寸、良好的外观特征等。石英坩埚而在融制生产过程中,可能因为原料、环境、设备以及人员操作等一系列环节带入的杂质污染,石英坩埚的外观特征也就是气泡、黑点、白点以及其它杂质等有较高的发生率,是影响合格率,对石英坩埚厂家造成困扰的大难题。

即便在判定合格的石英坩埚内,也会很大比例存在一些检验规格要求范围内的气泡、黑点、白点等。此类杂质或气泡有些虽然存在于石英坩埚透明层内但其实非常接近内表面,可能在单晶生长过程中由于熔硅对石英坩埚的侵蚀而从透明层中溶解出来,一旦这些杂质或气泡所含气体释放到硅熔体内就会影响硅棒品质,这些杂质还可能会与在界面处生长的晶体接触并导入到晶体结构中导致位错现象发生,会降低单晶产率。


石英坩埚厂家


为此,石墨坩埚生产厂家介绍一种激光修补石英坩埚的方法,可以解决上述现有技术问题中的一个或者多个。

激光修补石英坩埚的方法,包括以下步骤 :

1、调节激光装置发射出的激光对准石英坩埚的污点位置 ;

2、利用激光装置发射出的激光将石英坩埚的污点气化,形成缺口 ;

3、将石英砂填充到缺口内 ;

4、再次利用激光装置发射出的激光将填充在缺口内的石英砂熔融,并与石英坩埚形成一体。

由此,本方法利用激光熔融石英坩埚的污点,使其气化,再填充石英砂,利用激光熔融修补,来达到修补石英坩埚的污点,使其达到合格的要求,成本低,使用方便。


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